Centrotherm PECVD系统是管式系统,采用平行式石墨舟和低频(40kHz)激发等离子体放电。在低压和高温的条件下,等离子体在石墨舟的石墨惦记之间激发。反应的气体是硅烷和氨气。这些气体反应之后沉积到衬底(硅片)上,形成氮化硅薄膜。薄膜的折射率可以通过调整两种气体的比例而调整。
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详细介绍ABB ACS510变频器的说明书,包括各种功能指令代码对照表,故障维修指南,安装方法等。
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本手册记载了欧姆龙 3G3RX 系列高功能型通用变频器的使用方法,维护保养,故障情况的判断及处理,以及产品规格等。
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计量箱防窃电装置采用物联网和无线通信技术,在用电大户或者窃电嫌疑用户的计量箱内部,安装智能防窃电装置,实现对用电端的在线监控,能够有效防止窃电事件的发生,降低供电公司的损失。
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机械手是在自动化生产过程中使用的一种具有抓取和移动工件功能的自动化装置,它是在机械化、自动化生产过程中发展起来的一种新型装置。
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